Photovoltaik

Die hohe chemische Inertheit und Verträglichkeit gegenüber Reinstsilizium prädestiniert Si3N4-Bauteile für den Einsatz in der Photovoltaik.

Dies beginnt bereits bei den ersten Herstellungsschritten, wie der Synthese und Handling von Chlorsilan- und Polysilanverbindungen. Die Siliziumnitridkeramik ermöglicht es, →Rohrleitungen, →Kugelhähnen und →Reaktorauskleidungen kontaminations- und wartungsfrei zu gestalten.

Das in den folgenden Prozessschritten hergestellte Reinst-Silizium lässt sich anschließend mithilfe von Siliziumnitridkeramischen →Förderschnecken dosieren und fördern 


- oder über verschleißarme →Kompaktierwalzen aus Siliziumnitrid zu Pellets formen.

Nach der abschließenden Verarbeitung des reinen Siliziums zu Wafern können diese mit keramischen Greifern bewegt oder mittels Probecards geprüft werden (Wafer-Handling).

Verschleiß- und Kontaminationsprobleme in Beschickungs-, Strukturierungs- und →Beschichtungsanlagen lassen sich ebenfalls durch →Transportrollen, →Blenden und Abschirmplatten oder →Planar- und Rohrtargets aus Keramik lösen..